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Siliciuro de titanio (TiSi2) -Sputtering Target

  • 12039-83-7

  • TiSi2

  • 221400ST

  • 99,5%

  • Diámetro: 50,8 mm x 6,35 mm

  • 235-082-9

Estado de Disponibilidad:
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Característica

El disilicida de titanio (TiSi2) es un compuesto químico inorgánico.


Fórmula química: TiSi2

Masa molar: 104.038 g / mol

Aspecto: cristales ortorrómbicos negros

Densidad: 4,02 g / cm3

Punto de fusión: 1.470 ° C (2.680 ° F; 1.740 K)

Solubilidad en agua insoluble

Solubilidad: soluble en HF


Solicitud

El siliciuro de titanio se utiliza en la industria de los semiconductores.Por lo general, se cultiva mediante tecnología salicida sobre líneas de silicio y polisilicio para reducir la resistencia laminar de las conexiones de los transistores locales.En la industria microelectrónica se suele utilizar en la fase C54.


Siliciuro de titanio-MSDS.pdf

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