DIFERENCIAS DE TIGO PLANAR Y ROTANTE DEL TARGE

El objetivo común de pulverización en el mercado incluye principalmente el objetivo de PLANE SPORTTERING yObjetivo de pulverización giratoria

Para el objetivo plano, sus principales ventajas son la estructura simple, la versatilidad fuerte, la uniformidad de la película y la buena repetibilidad. Su mayor desventaja es la tasa de utilización de bajo objetivo, generalmente solo alrededor del 20%; cuando se consume el objetivo en la región brillo (región de distribución de campo magnético) Hasta cierto punto, se formarán las pits en forma de tira, lo que hace que el objetivo sea más delgado. Cuando la profundidad del pozo alcance un cierto valor, el objetivo ya no es utilizable.

En comparación con los objetivos planares, las principales ventajas de los objetivos de rotación son su estructura compacta y una tasa de utilización de objetivos más alta, lo que significa que los objetivos de rotación pueden resolver el problema de la tasa de baja utilización de los objetivos planares. Sin embargo, el objetivo rotativo también tiene algunas desventajas inevitables. Cuando se pulverizan, hay muchos anillos de brillo en toda la superficie del objetivo, que no pueden formar un brillo continuo. Por lo tanto, cuando se recubra un área grande de película, la uniformidad de la superficie de la película es deficiente y es difícil cumplir con los requisitos. , que es la mayor desventaja del objetivo giratorio.

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