Nitruro de tantalio (bronceado) -cubes / cuadrados

Característica

El nitruro de tantalio (TaN) es un compuesto químico, un nitruro de tantalio. Hay múltiples fases de compuestos, estoiquimétricamente de Ta₂N a Ta₃N₅incluido TaN.

Fórmula química: TaN

Masa molar: 194,955 g / mol

Apariencia: cristales negros

Densidad: 14,3 g / cm³

Punto de fusión: 3.090 ° C (5.590 ° F; 3.360 K)

Solubilidad en agua: insoluble

Estructura cristalina: Hexagonal, hP6

Solicitud

A veces se utiliza en la fabricación de circuitos integrados para crear una barrera de difusión o capas de \"pegamento \" entre el cobre u otros metales conductores. En el caso del procesamiento BEOL (a aprox. 20 nm), el cobre se recubre primero con tantalio, luego con TaN usando deposición física de vapor (PVD); Este cobre recubierto de barrera se recubre con más cobre mediante PVD y se rellena con cobre recubierto electrolíticamente antes de ser procesado mecánicamente.

También tiene aplicación en resistencias de película fina. Tiene la ventaja sobre las resistencias de nicromo de formar una película de óxido pasivante resistente a la humedad.