¿Qué es el objetivo de Sputtering?

Hora de publicación: 2022-02-03     Origen: Sitio

El recubrimiento de pulverización de magnetrón es un nuevo método de recubrimiento de fase gaseosa física, que es usar el sistema de pistola de electrones para emitir electrones y enfocar el material recubierto, de modo que los átomos de pulverización sigan el principio de conversión de impulso para volar lejos del material con una alta cinética. Energía a la película de deposición de sustrato. Este material chapado se llama elobjetivo pulverizador.

Aplicación del objetivo de pulverización

La pulverización es una de las principales tecnologías de preparación de materiales de película delgada, lo que hace uso de la fuente de iones, la fuente de iones a través de la aceleración recolectada en un vacío, y la formación de un haz de iones de alta velocidad, el bombardeo de superficie sólida, iones y sólidos. El intercambio de impulso atómico de superficie, desde la superficie sólida sólida y la deposición atómica en la superficie basal, el sólido bombardeado es la película de deposición de materias primas. Se llama material objetivo de pulverización. Varios tipos de materiales de película delgada pulverización se han utilizado ampliamente en circuitos integrados de semiconductores, medios de grabación, pantalla plana y recubrimiento de superficie de piezas. El ambiente de alta temperatura y alto vacío en la cámara de reacción hace que estos átomos metálicos formen granos, que luego se micropaten y grabados en capas de cables metálicos que transmiten datos en el chip.

El objetivo de pulverización se usa principalmente en la industria electrónica e información, como circuitos integrados, almacenamiento de información, pantalla de cristal líquido, memoria láser, dispositivos de control electrónico, etc. También se pueden usar en el campo de recubrimiento de vidrio; También se puede usar en materiales resistentes al desgaste, resistencia a la corrosión a alta temperatura, productos decorativos de alta calidad y otras industrias.

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