Material objetivo de tungsteno de alta pureza (fabricación de chips)

Aplicación del objetivo de tungsteno

Alta purezaobjetivo de tungstenoEs un sustrato importante para la transición de la película de óxido de tungsteno en dispositivos semiconductores. Debido al alto punto de fusión del tungsteno, los objetivos de tungsteno se preparan principalmente por metalurgia en polvo. El método de preparación incluye la pureza de 99.999% o más, tamaño de partícula de 3.2 4.2 μm de polvo de tungsteno para mezcla uniforme, colocada en el horno de tratamiento térmico de vacío para la pre-desgasificación, y luego en hidrógeno, continúa calentando los pasos de desgasificación; Polvo de tungsteno desgasificado a través de la presión caliente al vacío para completar un paso de sinterización; El segundo proceso de sinterización se completa con la prensa isostática caliente después de la primera sinterización. Al moler toda la superficie de la segunda placa de tungsteno sinterizada a través del mecanizado, se obtuvo material objetivo de tungsteno de alta pureza con pureza de 99.99% y densidad del 99% y superior para el semiconductor, lo que tiene las ventajas de la alta pureza, alta densidad y baja resistencia.

La pureza del objetivo de tungsteno en el circuito integrado semiconductor semiconductor tiene un requisito alto, generalmente la pureza objetivo debe ser superior al 99.999%. Al mismo tiempo, la densidad del objetivo también tiene un efecto importante en el proceso de recubrimiento y el rendimiento de la película, la densidad del objetivo no solo afecta la tasa de deposición, la densidad de las partículas de película pulverizador y el fenómeno de descarga. Pero también afecta las propiedades eléctricas y ópticas de la película de pulverización. El más denso del objetivo, cuanto menor sea la densidad de las partículas de película pulverizador, más débil el fenómeno de descarga, y mejor será el rendimiento de la película.

Solo unas pocas empresas en los Estados Unidos y Japón han dominado la tecnología de fabricación para los objetivos de tungsteno utilizados en la fabricación de chips. Afortunadamente, con el apoyo de la política de \"Hecho en China 2025 \", las personas más y más talentosas han regresado a China para iniciar sus propios negocios, trayendo consigo una experiencia tecnológica avanzada y creando un mejor ambiente para la investigación y el desarrollo. Esto no solo terminó la historia del material objetivo de metal que tiene que confiar en las importaciones, sino que también entró en el primer escalón del mundo en este campo.