Objetivo AZO （Óxido de zinc dopado con alúmina）

Las películas delgadas de ZnO (AZO) dopado con aluminio se depositan mediante un método de fabricación económicamente versátil de electropulverización sobre dos tipos de sustratos: vidrio y obleas de silicio, a una temperatura del sustrato de 300 ° C, un voltaje de 18 kV y una distancia entre el emisor y el colector de 6 cm. , El acetato de zinc deshidratado disuelto en una mezcla de agua desionizada, etanol y ácido acético se utiliza para la deposición de la película de ZnO sin dopar, mientras que para el dopado con Al se eligen dos materiales precursores: cloruro de aluminio y nitrato de aluminio disueltos en etanol. Los niveles de dopaje son 5 y 10% en peso y se investiga la dependencia de la concentración de las propiedades de las películas. Todas las películas exhiben una estructura policristalina con un tamaño de cristalito decreciente de 21 nm para películas sin dopar a 19 nm y 17 nm para películas de AZO （Óxido de zinc dopado con alúmina） dopadas con 5 y 10% en peso de Al, respectivamente. El desplazamiento de los picos XRD de las muestras dopadas hacia ángulos de difracción más altos revela la incorporación exitosa de Al en la red de ZnO. Las propiedades ópticas se investigan mediante mediciones elipsométricas y fotoluminiscentes. Se observa una disminución del índice de refracción de 1,89 para la muestra sin dopar a 1,84 y 1,83 para películas de óxido de zinc dopado con alúmina al 5 y 10%, respectivamente, y un aumento de la banda prohibida óptica de 3,30 eV a 3,40 eV. Se mide una disminución sustancial de la resistencia de la hoja para películas de AZO: 86 Ω / □ y 61 Ω / □ para muestras dopadas al 5% en peso y al 10%, respectivamente. Simultáneamente, la transmitancia de las películas se mantiene alta. Los valores promedio en el rango visible para películas con un espesor de 200 nm son 86% para películas sin dopar y 84% y 80% para películas dopadas con Al 5 y 10%, respectivamente. Así, se demuestra la aplicabilidad de las películas estudiadas como electrodos conductores transparentes.