Siliciuro de titanio (TiSi2) -Polvo

Característica

Disilicida de titanio (TiSi₂) es un compuesto químico inorgánico.

Fórmula química: TiSi₂

Masa molar: 104.038 g / mol

Aspecto: cristales ortorrómbicos negros

Densidad: 4,02 g / cm³

Punto de fusión: 1.470 ° C (2.680 ° F; 1.740 K)

Solubilidad en agua: insoluble

Solubilidad: soluble en HF

Solicitud

El siliciuro de titanio se utiliza en la industria de los semiconductores.Por lo general, se cultiva mediante tecnología salicida sobre líneas de silicio y polisilicio para reducir la resistencia laminar de las conexiones de los transistores locales.En la industria microelectrónica se suele utilizar en la fase C54.

Siliciuro de titanio-MSDS.pdf