Siliciuro de titanio (TiSi2) -Sputtering Target
Descripción del producto
Característica
El disilicida de titanio (TiSi2) es un compuesto químico inorgánico.
Fórmula química: TiSi2
Masa molar: 104.038 g / mol
Aspecto: cristales ortorrómbicos negros
Densidad: 4,02 g / cm3
Punto de fusión: 1.470 ° C (2.680 ° F; 1.740 K)
Solubilidad en agua insoluble
Solubilidad: soluble en HF
Solicitud
El siliciuro de titanio se utiliza en la industria de los semiconductores.Por lo general, se cultiva mediante tecnología salicida sobre líneas de silicio y polisilicio para reducir la resistencia laminar de las conexiones de los transistores locales.En la industria microelectrónica se suele utilizar en la fase C54.