Siliciuro de tungsteno (WSi2) -Polvo
Descripción del producto
Característica
Siliciuro de tungsteno (WSi2) es un compuesto inorgánico, un siliciuro de tungsteno.Es un material cerámico conductor de electricidad.
Fórmula química: WSi2
Masa molar: 240.011 g / mol
Aspecto: cristales tetragonales de color gris azulado
Densidad: 9,3 g / cm3
Punto de fusión: 2160 ° C (3.920 ° F; 2.430 K)
Solubilidad en agua: insoluble
Solicitud
Se utiliza en microelectrónica como material de contacto, con resistividad 60â € “80 μΠ© â € ‰ cm;se forma a 1000 ° C.A menudo se usa como derivación sobre líneas de polisilicio para aumentar su conductividad y aumentar la velocidad de la señal.Las capas de siliciuro de tungsteno se pueden preparar mediante deposición química de vapor, por ejemplo, usando monosilano o diclorosilano con hexafluoruro de tungsteno como gases fuente.La película depositada no es estequiométrica y requiere recocido para convertirse a una forma estequiométrica más conductora.El siliciuro de tungsteno reemplaza las películas de tungsteno anteriores.El siliciuro de tungsteno también se usa como capa de barrera entre el silicio y otros metales, por ejemplo, tungsteno.
El siliciuro de tungsteno también es valioso para su uso en sistemas microelectromecánicos, donde se aplica principalmente como películas delgadas para la fabricación de circuitos a microescala.Para tales fines, las películas de siliciuro de tungsteno se pueden grabar con plasma usando, por ejemplo, gas trifluoruro de nitrógeno.
WSi2se desempeña bien en aplicaciones como recubrimientos resistentes a la oxidación.En particular, en similitud con el disilicida de molibdeno, MoSi2, la alta emisividad del disilicida de tungsteno hace que este material sea atractivo para el enfriamiento radiativo de alta temperatura, con implicaciones en los escudos térmicos.