Objetivo de haluro de cerámica
- Objetivo de pulverización catódica de fluoruro de litio (LiF)
- Blanco de pulverización catódica de fluoruro de sodio (NaF)
- Blanco de pulverización catódica de fluoruro de itrio y sodio (NaYF4)
- Fluoruro de zinc (ZnF2): objetivo de dispersión
- Fluoruro de calcio (CAF2) - objetivo de computadora
- Fluoruro de magnesio (DFM) (MGF2) - objetivo de computadora
- Fluoruro de bario (BAF2) - objetivo de computadora
- Fluoruro de cerio (CeF3): objetivo de dispersión
- Fluoruro de lantano (LaF3): objetivo de dispersión
- Fluoruro de iterbio (YbF3): objetivo de dispersión