Nitruro de tantalio (TaN)-Pelets

Característica

El nitruro de tantalio (bronceado) es un compuesto químico, un nitruro de tantalio. Hay múltiples fases de compuestos, estoquimétricamente de TA₂N a ta₃N₅  incluyendo bronceado.

Fórmula química: Tan

Misa molar: 194.955 g / mol

Aspecto: Cristales Negros

Densidad: 14.3 g / cm³

Punto de fusión: 3,090 ° C (5,590 ° F; 3,360 k)

Solubilidad en el agua: insoluble.

Estructura de cristal: hexagonal, hp6

Solicitud

A veces se usa en la fabricación de circuitos integrados para crear una barrera de difusión o \"pegamento\", las capas entre el cobre u otros metales conductores. En el caso del procesamiento de Beol (en c. 20 nm), el cobre se recubre por primera vez con tantalio, luego con bronceado con deposición de vapor física (PVD); Esta barrera recubierta de cobre se recubre con más cobre por PVD, y relleno con cobre revestido electrolíticamente, antes de ser procesado mecánicamente.

También tiene aplicación en resistencias de película delgada. Tiene la ventaja sobre las resistencias de nichromos de formar una película de óxido pasivante que es resistente a la humedad.