Las películas delgadas de ZnO (AZO) dopado con aluminio se depositan mediante un método de fabricación económicamente versátil de electropulverización sobre dos tipos de sustratos: vidrio y obleas de silicio, a una temperatura del sustrato de 300 ° C, un voltaje de 18 kV y una distancia entre el emisor y el colector de 6 cm. , Acetato de zinc deshidratado disuelto i
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